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Sputtering by Particle Bombardment III

Autor
Herausgegeben von Behrisch, Rainer, Beiträge von Behrisch, R., Herausgegeben von Wittmaack, Klaus, Beiträge von Hauffe, W., Beiträge von Hofer, W.O., Beiträge von Laegreid, N., Beiträge von McClanahan, E.D., Beiträge von Sundqvist, B.U.R., Beiträge von Wittmaack, K., Beiträge von Yu, M.L.

Sputtering by Particle Bombardment III

Untertitel
Characteristics of Sputtered Particles, Technical Applications
Verlag
Springer Berlin
ISBN/EAN
978-3-662-31104-2
Preis
53,49 EUR
Status
lieferbar