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- Autor
- Herausgegeben von Behrisch, Rainer, Beiträge von Behrisch, R., Herausgegeben von Wittmaack, Klaus, Beiträge von Hauffe, W., Beiträge von Hofer, W.O., Beiträge von Laegreid, N., Beiträge von McClanahan, E.D., Beiträge von Sundqvist, B.U.R., Beiträge von Wittmaack, K., Beiträge von Yu, M.L.
Sputtering by Particle Bombardment III
- Untertitel
- Characteristics of Sputtered Particles, Technical Applications
- Verlag
- Springer Berlin
- ISBN/EAN
- 978-3-662-31104-2
- Preis
- 53,49 EUR
- Status
- lieferbar